ナノインプリント装置設計製作設置工事

露光装置を使わずにナノスケールの凸凹パターンを形成したナノスタンパを樹脂薄膜が塗布された基板に押し当てて樹脂薄膜に凸凹パターンを転写する成形微細加工です。